效 率:对0.12um粒子捕集效率达99.999%以上(计数法)特 点:高效率、低阻力、运行成本低用 途:ULSI制造工厂、半导体制造工厂、超净实验室、研究室等框 材:铝型材密 封 胶:聚胺脂胶分 隔 物:热熔胶滤 料:玻纤滤纸运行条件:使用最高温度:80℃使用最高湿度:100% 密封 条:氯丁橡胶